Microsystems technology : fabrication, test & reliability /

Saved in:
Bibliographic Details
Corporate Author: NetLibrary, Inc
Other Authors: Boussey, Jumana
Format: Electronic eBook
Language:English
Published: London ; Sterling, VA : Kogan Page Science, 2003.
Subjects:
Online Access:CONNECT

MARC

LEADER 00000cam a22000004a 4500
001 mig00004822362
006 m o d
007 cr cnu---unuuu
008 040906s2003 enka o 000 0 eng d
005 20240627130326.9
020 |a 1417526572 (electronic bk.) 
035 |a (OCoLC)ocm56424933 
035 |a 654633 
035 0 0 |a ocm56424933 
040 |a N$T  |c N$T 
049 |a TXME 
050 1 4 |a TK7875  |b .M58 2003eb 
082 0 4 |a 621.381  |2 22 
245 0 0 |a Microsystems technology :  |b fabrication, test & reliability /  |c edited by Jumana Boussey. 
260 |a London ;  |a Sterling, VA :  |b Kogan Page Science,  |c 2003. 
300 |a 1 online resource. 
336 |a text  |b txt  |2 rdacontent 
337 |a computer  |b c  |2 rdamedia 
338 |a online resource  |b cr  |2 rdacarrier 
533 |a Electronic reproduction.  |b Boulder, Colo. :  |c NetLibrary,  |d 2004.  |n Available via World Wide Web.  |n Access may be limited to NetLibrary affiliated libraries. 
650 0 |a Microelectromechanical systems. 
700 1 |a Boussey, Jumana. 
710 2 |a NetLibrary, Inc. 
730 0 |a NetLibrary 
776 1 |c Original  |z 1903996473  |w (DLC) 2003015993  |w (OCoLC)52721134 
856 4 0 |z CONNECT  |u https://search.ebscohost.com/login.aspx?direct=true&scope=site&db=nlebk&AN=114092&authtype=ip,sso&custid=s4672406  |3 NetLibrary  |t 0 
903 |a OWNED 
907 |a 1662269  |b 04-26-21  |c 05-24-10 
935 |a 654633 
994 |a 92  |b QYMA4 
998 |a wi  |b 05-24-10  |c m  |d z   |e -  |f eng  |g enk  |h 0  |i 1 
999 f f |i c0fbebf2-a92e-4f3f-ba9d-46257af0661f  |s f542bf76-b326-4084-af29-34feb2fc9bd7  |t 0 
952 f f |a Middle Tennessee State University  |b Main  |c James E. Walker Library  |d Electronic Resources  |t 0  |e TK7875 .M58 2003eb  |h Library of Congress classification